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【DeepSeek问答】半导体技术对比分析:CVD-PVD-ALD
【编者按】我们向万能的DeepSeek提出一些简单的半导体相关问题,看其回答能否满足你的要求。问题:CVD、PVD和ALD三种薄膜沉积技术的对比分析以下是CVD(化学气相沉积)、PVD(物理气相沉积)和ALD(原子层沉积)三种薄膜沉积技术的综合对比,从原理、工艺特性、应用场景到市场趋势进行系统分析:1. 基本原理与工艺过程PVD(...
半导体产业研究
2025-07-10 12:00:00
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