前言：笔者在总结这篇文章的时候也自己学习了，若有不全的地方请见参考资料！（注：参考资料见文末）

一、简介

半导体芯片制造是人类工业史上最复杂的制程之一，涉及材料科学、精密机械、光学、化学等多学科技术，全程需数百道工序，耗时数周甚至数月。其流程可大致分为芯片设计、晶圆制造（前道工艺）、封装测试（后道工艺） 三大环节，每个环节又包含多个关键子步骤。

二、详细内容

CVD工艺和设备

1CVD设备简介.pdf

2cvd设备行业分析.pdf

3CVD制程工艺及设备介绍.pdf

4PVD CVD 设备.pdf

Etch刻蚀工艺和设备

1WET ETCH CHEMISTRY FOR SELECTIVE SILICON ETCH.pdf

2等离子刻蚀.pdf

3干法蚀刻（dry etch）基础知识介绍.pdf

4光刻及刻蚀.pdf

5晶圆制造工艺-ETCH.pdf

6刻蚀(ETCH)工艺的基础知识.pdf

7刻蚀培训.pdf

8刻蚀术语.pdf

9【精品】7.Oxide Etch Introduction.pdf

10【精品】刻蚀.pdf

11【精品】刻蚀工艺.pdf

12Basic Oxide Etch Introduction.pdf

13Chapter7 Topography etch.pdf

14dry etch index.pdf

15Dry etch.pdf

16Etch Material.pdf

17etch.pdf

18ETCH工艺培训.pdf

19ic process - etch.pdf

20LeadFrame Etch 制程简介.pdf

21SMT-16 Etch CD.pdf

22The Etch Process - University at Buffalo.pdf

PVD工艺和设备

1PVD工艺和设备\真空镀膜(PVD)工艺介绍.pdf

2PVD工艺和设备\中国pvd设备行业行业分析.pdf

3PVD工艺和设备\0 pvd薄膜沉积工艺及设备.pdf

4PVD工艺和设备\PVD.pdf

5PVD工艺和设备\PVD及设备.pdf

6PVD工艺和设备\pvd技术培训.pdf

7PVD工艺和设备\PVD设备及工艺简介 PPT.pdf

8PVD工艺和设备\PVD设备及工艺简介.pdf

9PVD工艺和设备\PVD真空设备介绍教学PPT课件.pdf

半导体单晶炉（17份）

1半导体单晶炉（17份）\单晶炉设备行业.pdf

2半导体单晶炉（17份）\第02章-半导体制造工艺.pptx

3半导体单晶炉（17份）\硅片制备--多晶硅铸锭炉和单晶炉.ppt

4半导体单晶炉（17份）\直拉单晶炉设备简介、结构.pptx

5半导体单晶炉（17份）\半导体材料.ppt

6半导体单晶炉（17份）\半导体材料与工艺之单晶半导体材料制备技术方案.ppt

7半导体单晶炉（17份）\半导体衬底.pdf

8半导体单晶炉（17份）\半导体单晶和薄膜制造技术.ppt

9半导体单晶炉（17份）\半导体单晶激光定向.pdf

10半导体单晶炉（17份）\半导体第三讲-上.ppt

11半导体单晶炉（17份）\半导体第三讲-下-单晶硅生长技术.ppt

12半导体单晶炉（17份）\半导体制造工艺.ppt

13半导体单晶炉（17份）\半导体制造工艺晶体的生长.ppt

14半导体单晶炉（17份）\半导体制造工艺流程.ppt

15半导体单晶炉（17份）\半导体装用设备简介.pdf

16半导体单晶炉（17份）\单晶炉导流筒、热屏及炭毡对单晶硅生长影响的优化模拟.pdf

17半导体单晶炉（17份）\单晶炉机械结构.ppt

半导体抛光（16份）

1半导体抛光（16份）\化学机械抛光液(CMP)氧化铝抛光液具.doc

2半导体抛光（16份）\抛光技术及抛光液.docx

3半导体抛光（16份）\直径12英寸硅单晶抛光片-.pdf

4半导体抛光（16份）\6-英寸重掺砷硅单晶及抛光片.pdf

5半导体抛光（16份）\300mm硅单晶及抛光片标准.pdf

6半导体抛光（16份）\666化学机械抛光技术的研究进展.pdf

7半导体抛光（16份）\半导体单晶抛光片清洗工艺分析.pdf

8半导体抛光（16份）\半导体-第十四讲-CMP.ppt

9半导体抛光（16份）\半导体工艺.ppt

10半导体抛光（16份）\半导体工艺化学.ppt

11半导体抛光（16份）\半导体制程培训CMP和蚀刻.pptx.ppt

12半导体抛光（16份）\表面活性剂在半导体硅材料加工技术中的应用.pdf

13半导体抛光（16份）\硅抛光片-CMP-市场和技术现状-张志坚.pdf

14半导体抛光（16份）\硅片腐蚀和抛光工艺的化学原理.doc

15半导体抛光（16份）\化学机械抛光CMP技术的发展应用及存在问题.pdf

16半导体抛光（16份）\化学机械抛光技术及SiO2抛光浆料研究进展.pdf

半导体切片（16份）

1半导体切片（16份）\内圆切片机设计.pdf

2半导体切片（16份）\切片机张刀对切片质量的影响-45所.doc

3半导体切片（16份）\芯片封装详细图解.ppt

4半导体切片（16份）\半导体工业简介-简体中文...ppt

5半导体切片（16份）\半导体工艺技术.ppt

6半导体切片（16份）\半导体晶片加工.ppt

7半导体切片（16份）\半导体晶圆切割 - 副本.docx

8半导体切片（16份）\半导体晶圆切割.docx

9半导体切片（16份）\半导体全制程介绍.doc

10半导体切片（16份）\半导体芯片制造技术4.ppt

11半导体切片（16份）\冰冻切片的制备.docx

12半导体切片（16份）\第2章--半导体材料.ppt

13半导体切片（16份）\第三章-半导体晶体的切割及磨削加工.pdf

14半导体切片（16份）\第四章半导体集成电路(最终版).ppt

15半导体切片（16份）\多晶硅片生产工艺介绍.ppt

16半导体切片（16份）\厚硅片的高速激光切片研究.pdf

半导体清洗（14份）

1半导体清洗（14份）\第4章-半导体制造中的沾污控制.ppt

2半导体清洗（14份）\硅研磨片超声波清洗技术的研究.pdf

3半导体清洗（14份）\向65nm工艺提升中的半导体清洗技术.pdf

4半导体清洗（14份）\新型半导体清洗剂的清洗工艺.pdf

5半导体清洗（14份）\半导体IC清洗技术.doc

6半导体清洗（14份）\半导体IC清洗技术.pdf

7半导体清洗（14份）\半导体第五讲硅片清洗(4课时).ppt

8半导体清洗（14份）\半导体工艺-晶圆清洗.doc

9半导体清洗（14份）\半导体晶圆的污染杂质及清洗技术.pdf

10半导体清洗（14份）\半导体晶圆自动清洗设备.pdf

11半导体清洗（14份）\半导体清洗技术面临变革.pdf

12半导体清洗（14份）\半导体制程RCA清洗IC.ppt

13半导体清洗（14份）\半导体制程培训清洗.pptx.ppt

14半导体清洗（14份）\半导体制造工艺第3章-清-洗-工-艺.ppt

半导体研磨（8份）

1半导体研磨（8份）\半导体制造工艺第10章-平-坦-化.ppt

2半导体研磨（8份）\Semiconductor-半导体基础知识.pdf

3半导体研磨（8份）\半导体CMP工艺介绍.ppt

4半导体研磨（8份）\半导体IC工艺流程.doc

5半导体研磨（8份）\半导体-第十六讲-新型封装.ppt

6半导体研磨（8份）\半导体封装制程及其设备介绍.ppt

7半导体研磨（8份）\半导体硅材料研磨液研究进展.pdf

8半导体研磨（8份）\半导体晶圆的生产工艺流程介绍.docx

芯片封装测试（23份）

1芯片封装测试（23份）\集成电路封装技术.ppt

2芯片封装测试（23份）\集成电路封装与测试(一).ppt

3芯片封装测试（23份）\集成电路封装与测试-第一章.ppt

4芯片封装测试（23份）\集成电路芯片封装第十五讲.ppt

5芯片封装测试（23份）\集成电路制造技术：(12)(13)(14)工艺集成与封装测试.ppt

6芯片封装测试（23份）\裸芯片封装技术的发展与挑战.pdf

7芯片封装测试（23份）\微电子--芯片测试与封装作业.doc

8芯片封装测试（23份）\芯片测试的几个术语及解释.docx

9芯片封装测试（23份）\芯片封装测试流程详解.ppt

10芯片封装测试（23份）\芯片封装类型(搜集整理各种芯片封装的介绍及运用).doc

11芯片封装测试（23份）\芯片封装引线电性能的测试.pdf

12芯片封装测试（23份）\芯片知识介绍.pptx

13芯片封装测试（23份）\《超大规模集成电路设计导论》第9章：系统封装与测试.ppt

14芯片封装测试（23份）\CPU芯片测试技术.doc

15芯片封装测试（23份）\IC封装测试工艺流程.ppt

16芯片封装测试（23份）\IC-芯片封装流程.pptx

17芯片封装测试（23份）\半导体封装工艺讲解.ppt

18芯片封装测试（23份）\测试!芯片测试的意义.pdf

19芯片封装测试（23份）\常见IC封装技术与检测内容.pptx

20芯片封装测试（23份）\第12章-集成电路的测试与封装.ppt

21芯片封装测试（23份）\第三章-封装与测试技术ok.ppt

22芯片封装测试（23份）\封装测试工艺教育资料.pdf

23芯片封装测试（23份）\集成电路封装和可靠性Chapter2-1-芯片互连技术.pdf

芯片设计（38份）

1芯片设计（38份）\基于DSP芯片设计的一种波形发生器.doc

2芯片设计（38份）\集成电路(IC)设计完整流程详解及各个阶段工具简介.docx

3芯片设计（38份）\集成电路-ch1.ppt

4芯片设计（38份）\集成电路EDA设计概述.ppt

5芯片设计（38份）\集成电路版图设计5.ppt

6芯片设计（38份）\集成电路技术简介.pptx

7芯片设计（38份）\集成电路设计的现状与未来.ppt

8芯片设计（38份）\集成电路芯片设计.ppt

9芯片设计（38份）\晶圆及芯片测试.doc

10芯片设计（38份）\模拟芯片设计的四个层次.doc

11芯片设计（38份）\射频芯片校准设计.pdf

12芯片设计（38份）\深入大规模芯片设计全过程.doc

13芯片设计（38份）\数字IC芯片设计.ppt

14芯片设计（38份）\同步升压芯片设计指南.ppt

15芯片设计（38份）\图形芯片设计全过程.doc

16芯片设计（38份）\系统芯片SOC设计.ppt

17芯片设计（38份）\芯片设计过程.doc

18芯片设计（38份）\芯片设计和生产流程.pdf

19芯片设计（38份）\芯片设计流程.pdf

20芯片设计（38份）\芯片设计实现介绍.pptx

21芯片设计（38份）\芯片研发过程介绍.pdf

22芯片设计（38份）\一种基于MEMS技术的压力传感器芯片设计-王大军.pdf

23芯片设计（38份）\影响倒角加工效率的工艺研究-康洪亮.doc

24芯片设计（38份）\用555芯片设计的施密特触发器电路1.doc

25芯片设计（38份）\5--芯片规划与设计(3学时).ppt

26芯片设计（38份）\18微米芯片后端设计的相关技术.pdf

27芯片设计（38份）\ASIC芯片设计生产流程.ppt

28芯片设计（38份）\ECO技术在SoC芯片设计中的应用-王巍.pdf

29芯片设计（38份）\ic设计流程工具.docx

30芯片设计（38份）\LDO芯片设计报告及电路分析报告.pdf

31芯片设计（38份）\半导体缺陷解析及中英文术语一览.pdf

32芯片设计（38份）\半导体制程简介.ppt

33芯片设计（38份）\常用存储器芯片设计指南.pdf

34芯片设计（38份）\超大规模集成电路设计.ppt

35芯片设计（38份）\超大规模集成电路中低功耗设计与分析.pdf

36芯片设计（38份）\第二讲.集成电路芯片的发展历史设计与制造.ppt

37芯片设计（38份）\关于芯片和芯片设计的科普——集成电路设计人员给家人的科普.ppt

38芯片设计（38份）\华大半导体181页PPT基础知识培训——常用半导体器件讲解.ppt

芯片制造（26份）

1芯片制造（26份）\柔性电子制造技术基础-第4讲-PART1-2014.pdf

2芯片制造（26份）\图解芯片制作工艺流程.pdf

3芯片制造（26份）\芯片的制造过程.doc

4芯片制造（26份）\芯片生产工艺流程.doc

5芯片制造（26份）\芯片微纳制造技术.pptx

6芯片制造（26份）\芯片制程(以-Intel-芯片为例).docx

7芯片制造（26份）\芯片制造倒装焊工艺与设备解决方案.pdf

8芯片制造（26份）\芯片制造工艺.ppt

9芯片制造（26份）\芯片制造工艺流程简介.ppt

10芯片制造（26份）\芯片制造技术.ppt

11芯片制造（26份）\芯片制作工艺流程.doc

12芯片制造（26份）\6.3-集成电路制造工艺技术.ppt

13芯片制造（26份）\21-系统芯片与片上通信结构.pptx

14芯片制造（26份）\CH3-硅片加工倒角.ppt

15芯片制造（26份）\MEMS工艺(3半导体工艺)扬卫.ppt

16芯片制造（26份）\半导体芯片制造技术5.ppt

17芯片制造（26份）\倒装芯片凸点制作方法.pdf

18芯片制造（26份）\第4章---14芯片制造概述.doc

19芯片制造（26份）\第三章-集成电路的制造工艺.ppt

20芯片制造（26份）\第十一章-半导体材料制备.ppt

21芯片制造（26份）\第四章-集成电路制造工艺.ppt

22芯片制造（26份）\第四章-芯片制造概述.ppt

23芯片制造（26份）\段辉高-2-半导体中的材料、硅片制作流程.pptx

24芯片制造（26份）\集成电路设计常识-山大暑期学校-集成电路.ppt

25芯片制造（26份）\集成电路制造工艺课件.ppt

26芯片制造（26份）\集成电路制造工艺之光刻与刻蚀工艺.ppt

参考资料（已汇总在Excel里，按文章标题关键字查找自取！）

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