来源：EURAMET新闻

点击跳转至网站

最近完成的EMPIR项目“超纯工艺气体中痕量水的计量”（20IND06，PROMETH2O）致力于填补计量溯源性方面的知识空白。该联盟开发了可追溯和改进的光学测量方法，用于生产纯工艺气体，用于检测十亿分之几的痕量水污染。

世界第一

该项目的研究使项目合作伙伴Qrometric能够以前所未有的精度验证其霜点发生器，霜点温度低至-100°C，这是以前任何商用便携式校准器都无法覆盖的温度范围。霜点发生器系统是世界上第一个独立的便携式露点/霜点校准器，可在现场提供测量溯源性。

仪器首次可用于湿度传感器和分析仪的精确现场校准。该仪器的验证温度测量范围为-100°C至0°C，精度在0.5°C至0.05°C之间，能够在低于大多数主要校准标准的温度下进行测量。

这一进展将改进痕量水测量，这将有助于减少欧洲战略部门的废物，如微电子工业和能源气体，并为药品提供更好的生产环境。

.INRIM的项目协调员Vito Fernicola说：“PROMETH2O项目成功地解决了超高纯气体中痕量水污染计量溯源性方面的一个关键差距。通过开发经过验证的方法并支持QROMETRIC LFPG的推出，该项目实现了湿度传感器的精确现场校准，确保了低至-100°C霜点的可靠和可追溯的测量。

这款世界首创的仪器代表了该领域的一项重大进步，因为在痕量水位（ppb级）直接校准传感器和分析仪，极大地推动了工业校准系统的最新发展。

准确性和溯源性的提高将加强微电子和制药等各个行业的质量控制，从而提高产品的可靠性。这一成就突显了欧洲计量研究在通过高精度测量解决方案支持行业需求方面的影响。” 

该EMPIR项目由欧盟地平线2020研究和创新计划和EMPIR参与国共同资助。

编译：孙惠颖