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2025年先进光刻技术研讨会
为促进先进光刻技术领域的学术交流与产业合作,探讨最新技术进展、工艺优化及未来发展方向,半导体在线将于2025年8月1日在苏州举办“2025年先进光刻技术研讨会”,聚焦于掩膜版、光刻机以及光刻胶等核心议题,欢迎参会、参展等合作。
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SiC作为第三代半导体材料的代表,具有高禁带宽度、高硬度和耐磨性、高热导率等优异特性,是制造高压、高温、高频功率器件的理想材料。但大尺寸SiC晶体的制备一直是全球技术难题,此前行业主流量产尺寸仍为6-8英寸衬底。




近期,我国2家企业在12英寸SiC技术领域取得了显著进展:

  • 晶越半导体:研制出高品质12英寸SiC晶锭;

  • 天成半导体:成功研制出12英寸N型碳化硅单晶材料。

晶越半导体:

研制出高品质12英寸SiC晶锭



晶越半导体继2025年上半年成功量产8英寸碳化硅衬底后,公司持续投入并不断加大研发力度,并在热场设计、籽晶粘接、厚度提升以及缺陷控制方面不断调整和优化工艺,在721日研制出高品质12英寸SiC晶锭,标志晶越成功进入12英寸SiC衬底梯队。

此次技术突破的背后,是晶越团队对多个关键环节的持续攻关。面对大尺寸晶体生长过程中热场分布不均、籽晶对位困难、厚度控制精度不足以及晶体缺陷风险增大的挑战,公司系统性优化了热场结构设计、籽晶粘接工艺参数、厚度均匀性控制方法,并在缺陷抑制方面取得显著成效。通过这些核心环节的协同优化,晶越成功实现了12英寸SiC晶体的高质量生长。


天成半导体:

成功研制出12英寸N型碳化硅单晶材料



2025年第二季度,山西天成半导体材料有限公司成功研制出12英寸(300mm)N型碳化硅单晶材料。

天成半导体一直坚持聚焦碳化硅材料研发及生产,先后攻克了大尺寸扩径工艺和低缺陷N型单晶材料的生长工艺。12英寸N型碳化硅单晶材料的成功研发,是天成半导体发展史上的一个重要里程碑,更是公司迈向新征程的起点。

接下来,天成半导体将全力以赴推进大尺寸碳化硅单晶材料的产业化技术,深化研发投入,保持技术领先地位。


来源:半导体在线整理自晶越半导体、天成半导体

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