紧跟大尺寸时代,又2家企业成功研发12英寸SiC衬底!
- 2025-07-23 16:29:27

SiC作为第三代半导体材料的代表,具有高禁带宽度、高硬度和耐磨性、高热导率等优异特性,是制造高压、高温、高频功率器件的理想材料。但大尺寸SiC晶体的制备一直是全球技术难题,此前行业主流量产尺寸仍为6-8英寸衬底。

近期,我国2家企业在12英寸SiC技术领域取得了显著进展:
晶越半导体:研制出高品质12英寸SiC晶锭;
天成半导体:成功研制出12英寸N型碳化硅单晶材料。
晶越半导体:
研制出高品质12英寸SiC晶锭
晶越半导体继2025年上半年成功量产8英寸碳化硅衬底后,公司持续投入并不断加大研发力度,并在热场设计、籽晶粘接、厚度提升以及缺陷控制方面不断调整和优化工艺,在7月21日研制出高品质12英寸SiC晶锭,标志晶越成功进入12英寸SiC衬底梯队。

天成半导体:
成功研制出12英寸N型碳化硅单晶材料
2025年第二季度,山西天成半导体材料有限公司成功研制出12英寸(300mm)N型碳化硅单晶材料。


天成半导体一直坚持聚焦碳化硅材料研发及生产,先后攻克了大尺寸扩径工艺和低缺陷N型单晶材料的生长工艺。12英寸N型碳化硅单晶材料的成功研发,是天成半导体发展史上的一个重要里程碑,更是公司迈向新征程的起点。


接下来,天成半导体将全力以赴推进大尺寸碳化硅单晶材料的产业化技术,深化研发投入,保持技术领先地位。




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