展商推介


上海捷热科技有限公司

上海捷热科技有限公司(简称“捷热”)是一家专注于超高精度测控温产品的国家高新技术企业,总部设在上海,同时在南通设有生产基地。捷热致力于超高精度测控温产品的国产化替代,解决国家重大基础研究问题。
捷热对标国际品牌产品,测控温精度最高达μK 量级,实现产品化并通过客户验证。主要产品类别包括国产化高精度温度传感器、国产化高精度测控温仪器、半导体领域温度量测系统及量子领域低温系统等。
捷热技术团队拥有超 20 年测控温行业经验,将测控温技术应用于半导体、量子、计量等多个行业,服务于权威计量机构、芯片制造公司、各大研究院所等高精尖企业。

公司产品:
高精度热敏电阻温度传感器
热敏电阻是对热敏感的电阻体,其阻值随温度变化而发生显著变化。工作温度范围在 0℃ ~ 60℃,涵盖了日常温度测量控制所需的温度范围,是使用最多的温度传感器。广泛应用于各种行业,包括但不限于温度监测、自动化控制系统和电子设备中。我们的产品在温度敏感性、稳定性和精度方面均表现卓越,为客户提供可信赖的温度控制解决方案。
产品特点
1. 此款热敏传感器为不锈钢铠装,后端引线为 4 线制;
2. 具有良好的准确度及稳定性,温度准确度优于 1mK;
3. 热响应迅速,适用于对温度变化敏感的高精度应用场景。

原位无线测温晶圆系统
原位无线测温晶圆系统支持监测干式、浸入式和 EUV 光刻扫描仪。该系统可以产生高精度的晶圆温度时空数据,可以帮助光刻工程师监测影响图案套刻效果的光刻机温度变化。该系统的结构为标准厚度的 12 英寸晶圆,精度高,噪声低,可用于监测光刻机温度的均匀性和稳定性,用于光刻机的鉴定和匹配。
产品特点
1. 精度高,应用灵活,采样速度快;
2. 扫描速度高达 4Hz,温度准确度优于 10mK;
3. 采用点对点无线通讯方式。

掩膜无线测温系统
掩膜无线测温系统用于电子束掩膜写入的温度监测、验证,因电子束在完全写入掩膜在较长时段内需要极高的温度稳定性。该系统可连续不间断(最长 24小时)收集温度数据,从而为确保掩膜系统温度稳定性提供所需的数据。
产品特点
1.体积小、精度高、采样速度快;
2.温度准确度优于 10mK;
3.采用点对点无线通讯方式,响应时间短。

原位高温无线测温晶圆系统
原位高温无线测温晶圆系统能优化和监控各项先进薄膜工艺(FEOL 和 BEOL ALD、CVD 和 PVD)以及其他高温工艺。该系统能测量工艺设备的温度均匀性,提供在实际生产工艺条件下原位测量的高精度晶圆温度时空数据。例如能实际测量等离子体工艺中可能影响工艺窗口和成形性能的温度变化,帮助 IC 制造商优化新材料、晶体管技术和复杂成形技术。
产品特点
1. 精度高,应用灵活,采样速度快;
2. 采集频率高达 4Hz,温度准确度 ±0.2℃;
3. 采用点对点无线通讯方式。

16 路温度采集系统
该设备支持四线制温度传感器,采用低噪声信号处理电路结合软、硬件滤波算法,实现高精度温度测量,最多支持 16 路温度数据并行采集。在计量、科研等工作中有着广泛的用途,它是温度检定测试的理想选择。
产品特点
1. 配置灵活,即插即用,支持 16 通道;
2. 支持热敏温度计的鉴定能力,对于 10K 热敏,比例系数为 1 的条件下,
3. 测温准确度高达 1mK;
4. 配套上位机,操作简单便捷,可视化温度曲线显示;
5. 通讯接口为网口。

测温晶圆标定用恒温槽
此款恒温槽针对测温晶圆标定所研发,区别于市面上的恒温槽,此款产品具有大开口,高稳定性与均匀性,能满足各款测温晶圆的标定工作。
产品特点
1. 足够大的开口尺寸,可同时容纳标定测试多片 12 寸测温晶圆;
2. 超高的稳定性以及均匀性,5℃~50℃全温度范围稳定性优于±1mK;
3. 操作简便,产品可靠性高。

在全球化竞争的新征程中,捷热科技正以文化自信与科技创新双轮驱动,推动中国品牌走向世界舞台。其核心产品已服务于国内外百余家高精尖企业,为全球高端制造产业贡献“中国智慧”。正如公司文化理念所倡导:我们不仅要做技术追赶者,更要成为行业标准的制定者,用温度精度丈量中国智造的高度,让中国精度成为智能制造的新名片!
2025年先进光刻技术研讨会,捷热科技在 A8 展位期待您的莅临!

2025年先进光刻技术研讨会

为促进先进光刻技术领域的学术交流与产业合作,探讨最新技术进展、工艺优化及未来发展方向,半导体在线将于2025年8月1日在苏州举办“2025年先进光刻技术研讨会”,诚挚邀请全国高等院校、科研机构、企业和政府部门的专业人士参加本届研讨会,积极开展广泛地交流与探讨,共同推动光刻技术突破和产业化进程。


会议议程

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扫码报名参会



前250家报名单位名单

A&D

Akribis system

IBSSGroup,Inc.

SBI

SGS

sjsemi

SK海力士半导体(无锡)有限公司

阿米精控科技(山东)有限公司

爱发科真空技术(苏州)有限公司

安徽芯塔电子科技有限公司

百及纳米科技(上海)有限公司

北京大学

北京大学集成电路学院

北京金竟科技有限责任公司金竟科技

北京亦庄盛元投资开发集团有限公司

北京易客捷国际供应链管理有限公司

北京真空电子技术研究所

北京中电科电子装备有限公司

常熟农商行

常熟水杉盛泽私募基金有限公司

重庆瑞信气体有限公司

重庆师范大学

东莞市晟鼎精密仪器有限公司

东莞市沃成科技有限公司

东海投资有限责任公司

复旦大学

复拓科学仪器(苏州)有限公司

格林斯达环保科技股份有限公司

广州微纳光刻材料科技有限公司

国投证券

国悦君安股权

哈尔滨工业大学

杭州光研科技有限公司

杭州合域科技有限公司

合肥德晟新型材料科技有限公司

合肥国家实验室

合肥晶合集成电路股份有限公司

合肥开悦半导体科技有限公司

亨特瑞(昆山)新材料科技有限公司

鸿印电子科技有限公司

湖北菲利华石英玻璃股份有限公司

湖南大学

华虹半导体

华进半导体封装先导技术研发中心有限公司

华天科技(江苏)有限公司

华为

华中科技大学

佳美先进化学股份有限公司

嘉兴经济技术开发区产业发展有限公司

江苏驰耐特防腐科技有限公司

江苏第三代半导体研究院

江苏金刚科技股份有限公司

江苏南⼤光电材料股份有限公司

江苏三鑫特殊金属材料股份有限公司

江苏苏美达集团有限公司

江苏喜马拉雅半导体有限公司

江苏信合光电有限公司

江苏中科智芯集成科技有限公司

京东方

九迪微电子科技(湖北)有限公司

九峰山实验室

立可半导体技术(深圳)有限公司

联想

领晶(厦门)光电科技有限公司

墨科微电子(无锡)有限公司

纳川资本

南京嘉晟新材料科技有限公司

南京英昊自动化科技有限公司

宁波冠石半导体有限公司

挪亚检测技术有限公司

清大智库研究院

桑德斯微电子器件(南京)有限公司

上海常舜创业投资管理有限公司

上海澈芯科技有限公司

上海传芯半导体有限公司

上海大族富创得科技股份有限公司

上海复创芯半导体科技有限公司

上海氿沐科技有限公司

上海恒昇泰实业有限公司

上海宏纭半导体科技有限公司

上海嘉世私募基金管理有限公司

上海交通大学

上海捷热科技有限公司

上海津启信息科技有限公司

上海迈拓尔特种气体有限公司

上海纳腾仪器有限公司

上海舜锋机械制造有限公司

上海纬迪企业管理咨询有限公司

上海新微技术研发中心有限公司

上海新阳半导体材料股份有限公司

上海亿鼎电子科技集团有限公司

深圳帝腾芯片科技有限公司

深圳捍卫者安全装备有限公司

深圳清溢微电子有限公司

深圳市傲浦科技有限公司

深圳市创新投资集团

深圳市和科达半导体设备有限公司

深圳市金创图科技有限公司

深圳市先地图像科技有限公司

胜科纳米(苏州)股份有限公司

十一科技

世名(苏州)新材料研究院有限公司

苏州博众仪器科技有限公司

苏州工业园区雨竹半导体有限公司

苏州汇川联合动力系统股份有限公司

苏州极钻纳米科技有限公司

苏州纳川投资管理有限公司

苏州睿萃智能科技有限公司

苏州山河光电科技有限公司

苏州熙德半导体有限公司

苏州长江睿芯电子科技有限公司

苏州中卫宝佳净化科技有限公司

台湾益登国际有限公司

台州市艾赛康电子有限公司

天马微电子股份有限公司

无锡湃得恩科技有限公司

武汉欧双光电科技股份有限公司

西北工业大学

新疆政法学院

徐州博康信息化学品有限公司上海分公司

烟台产研投资发展有限公司

扬州中科半导体照明有限公司

意法半导体

应用材料公司

甬矽电子(宁波)股份有限公司

优尼康

张江实验室

长飞光纤光缆股份有限公司

长江证券

长三角泛半导体新材料产业园

兆默真空设备(苏州)有限公司

柘城县瑞达钻石科技有限公司

中电二公司

中国电子科技集团公司第四十五研究所

中国电子系统工程第四建设有限公司

中国互联网投资基金

中国化学工程第三建设有限公司

中国科学院上海高等研究院

中国科学院上海光学精密机械研究所

中科院计算所

中勤實業股份有限公司

中山大学

中山新诺科技股份有限公司

中新产投

爱德万测试

北京金竟科技有限责任公司

北京理工大学

德玛克(浙江)真空科技有限公司

东方微电

福斯艾特苏州智能工业技术有限公司

国力股份

合肥皓宇芯光科技有限公司

华为技术有限公司

火星节能科技苏州有限公司

佳富龙洲(北京)咨询

佳信嵘识管理咨询(北京)有限公司

龙中纤贵谭松竹发龙眼开发有限公司

美茵科技(无锡)有限公司

南京波长光电科技股份有限公司

南京博创半导体设备有限公司

南通沃晨电子科技有限公司

三河建华高科有限责任公司

上海犇涛电子有限公司

上海大族富创得科技股份有限公司

上海科技大学

上海利港刻半导体设备有限公司

上海纳腾仪器有限公司

上海檀之茗科技中心

上海宇量昇科技有限公司

深圳国际量子研究院

深圳通太半导体智能科技有限公司

苏美达国际技术贸易有限公司

苏州大族芯科技有限公司

苏州禾川化学技术服务有限公司

苏州麦尔康电子科技有限公司

苏州米德曼智能科技有限公司

苏州瑞霏光电科技有限公司

苏州瑞赛半导体系统有限公司

苏州中科集成电路设计中心

台达电子企业管理有限公司

微谱检测技术有限公司

鑫业诚智能装备(无锡)有限公司

郑州磨料磨具磨削研究所有限公司

中电科思仪科技股份有限公司

中国科学技术大学

中国移动

子里创投

安徽秀道控股集团有限公司

北京奥得赛化学有限公司

采埃孚

朝希资本

大连盛航科星科技发展有限公司

阜阳市颍科基金管理有限公司

姑苏实验室

光科芯图(北京)科技有限公司

硅欣科技(上海)有限公司

国金证券

国仪量子技术(合肥)股份有限公司

海宁商务局

河南省氟基新材料科技有限公司

华为技术有限公司

江苏丰岳科技有限公司

金狮化工科技有限公司

京华科建股份有限公司

老虎投资管理上海有限公司

绵阳艾萨斯电子材料有限公司

宁波群芯微电子股份有限公司

诺力昂化学品(宁波)有限公司

欧名欣半导体材料有限公司

青岛市招商促进中心

上海柏毅试验设备有限公司

上海金狮化工科技有限公司

上海芮今光电科技有限公司

深圳市美信检测技术股份有限公司

深圳昱翔泰吉电力科技有限公司

盛吉盛半导体科技有限公司

苏州和研精密科技有限公司

苏州华锐杰新材料科技有限公司

苏州科技企业股权服务有限公司

苏州岚创科技有限公司

苏州斯德瑞机电科技有限公司

苏州耀宏光电科技有限公司

苏州中鑫知联科技有限公司

无锡新加坡工业园

长江存储科技有限责任公司

浙江省科技风险投资有限公司

中国电子科技集团第十三研究所

中国科学院上海光机所


01

主办单位

半导体在线


02

时间和地点

时间:8月1日(7月31日签到)

地点:苏州万豪酒店(苏州市姑苏区干将西路1296号)


03

会议议题

1、光刻胶生产工艺和应用;

2、光刻机关键技术;

3、掩膜版制造工艺与检测技术;

4、先进光刻技术及相关耗材与设备;


04

会议形式

主要通过主题发言、现场讨论的形式,也欢迎材料企业、设备企业安排小型展览。为了共同办好这次会议, 热烈欢迎各企业、科研院所赞助本次会议,并借此机会提高知名度。

05

会议注册费

会议注册费:(仅含会议期间提供午、晚餐及茶歇、会议资料)

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账户信息

户 名:石墨邦(北京)互动科技有限公司

开户行:中国工商银行股份有限公司北京经济技术开发区宏达北路支行

账 号:0200059009200333671

付款时注明:单位名称+参会人名


开票注意事项:

增值税普通发票请提供单位名称及税号。

如果需要增值税专用发票,请提供单位名称、税号、地址、电话、开户行、账号。

接收邮箱:bandaotibj@163.com


06

住宿安排

会务组在会议酒店协商了房间,会议代表需自行与酒店联系住房预订事宜,费用自理。参会人员需尽快完成房间的预订,费用自理。

苏州万豪酒店,苏州市姑苏区干将西路1296号

协议价:单/标间 450元(含早)

预定电话:王经理 13812671208


07

组委会联系方式

参会、参展、宣传及赞助事宜

联系人:刘经理

联系电话:13521337845(微信同号)

联系人:秦经理

联系电话:18513072168(微信同号)




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