欧洲计量创新与研究计划(EMPIR)项目成果有望提高欧洲显微镜行业竞争力
- 2025-07-22 11:36:22

来源:EURAMET新闻
项目


已完成的EMPIR项目使用高速扫描探针显微镜(20IND08,MetExSPM)对纳米结构的局部功能特性进行可追溯性,为高速扫描探针显微术开发了基本模块,包括自感测和自致动探头(其中感测和致动集成在探头中而不是外部)、新型扫描探针显微镜载物台和用于控制和数据处理的开源软件。这些产出,有些已经商业化或免费提供,有可能对半导体、光学和先进制造业等几个行业产生影响。
影响

·该项目中开发的主动探针由原子力显微镜尖端和主动悬臂组成,可供客户使用,并已被项目合作者Ilmenau技术大学采用,该大学正在使用这些探针进行各种(AFM) 原子力显微镜测量。
·Nano Analytik GmbH正在使用该项目中为活性探针开发的校准方法,以提高生产可靠性和客户满意度。
·该项目开发的压电载物台和磁悬浮(MagLev)载物台的组合,可溯源至米制公约,用于其他需要高速和高精度的应用。
·Gwyscope是一种适用于SPM测量的数字信号处理器,在Thorlabs网站上也被提及为Thorlabs Education AFM扩展使用的一个例子。
·蔡司向联盟合作伙伴提供了具有挑战性的样品(超细光学表面、硅片上的光栅结构、石英玻璃上的横向标准和掩模版)。合作伙伴对这些样品的测量结果与蔡司进行的表征非常一致。该比较显示了该测量方法在蔡司光刻光学产品生产中的可能适用性。
·该项目中开发或改进的仪器显著提高了国家测量研究院VTT、CMI、GUM和PTB的AFM对俯仰和台阶高度校准的测量能力。
·已披露两项与活性探针有关的专利,其中一项正在准备中。
预计项目成果的采用将提高欧洲显微镜行业的竞争力,并改善半导体、纳米材料、纳米生物科学和纳米光子学行业的质量控制。
VTT的项目协调员Virpi Korpelainen说:“这个项目既具有挑战性,又取得了成功。所有的项目开发也可以应用于其他应用程序,它们要么是商业上的,要么是免费提供给最终用户的。”
小编叨叨
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