开发实现高速扫描技术工业应用所需的仪器和软件


来源:EURAMET新闻

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项目


复杂的纳米结构和纳米器件用于光子学、量子技术和纳米电子学,并越来越多地用于医疗保健和新材料研究。快速、准确和可溯源的高速扫描探针显微镜在识别制造中的缺陷纳米产品、提高生产率和减少浪费方面具有巨大的潜力。传统的扫描探针显微镜要么速度太慢,无法覆盖大面积,要么速度太快,缺乏定位精度。

电子芯片

已完成的EMPIR项目使用高速扫描探针显微镜(20IND08MetExSPM)对纳米结构的局部功能特性进行可追溯性,为高速扫描探针显微术开发了基本模块,包括自感测和自致动探头(其中感测和致动集成在探头中而不是外部)、新型扫描探针显微镜载物台和用于控制和数据处理的开源软件。这些产出,有些已经商业化或免费提供,有可能对半导体、光学和先进制造业等几个行业产生影响。

影响


·该项目中开发的主动探针由原子力显微镜尖端和主动悬臂组成,可供客户使用,并已被项目合作者Ilmenau技术大学采用,该大学正在使用这些探针进行各种(AFM) 原子力显微镜测量。

·Nano Analytik GmbH正在使用该项目中为活性探针开发的校准方法,以提高生产可靠性和客户满意度。

·该项目开发的压电载物台和磁悬浮(MagLev)载物台的组合,可溯源至米制公约,用于其他需要高速和高精度的应用。

·Gwyscope是一种适用于SPM测量的数字信号处理器,在Thorlabs网站上也被提及为Thorlabs Education AFM扩展使用的一个例子。

·蔡司向联盟合作伙伴提供了具有挑战性的样品(超细光学表面、硅片上的光栅结构、石英玻璃上的横向标准和掩模版)。合作伙伴对这些样品的测量结果与蔡司进行的表征非常一致。该比较显示了该测量方法在蔡司光刻光学产品生产中的可能适用性。

·该项目中开发或改进的仪器显著提高了国家测量研究VTTCMIGUMPTBAFM对俯仰和台阶高度校准的测量能力。

·已披露两项与活性探针有关的专利,其中一项正在准备中。

预计项目成果的采用将提高欧洲显微镜行业的竞争力,并改善半导体、纳米材料、纳米生物科学和纳米光子学行业的质量控制。

VTT的项目协调员Virpi Korpelainen说:“这个项目既具有挑战性,又取得了成功。所有的项目开发也可以应用于其他应用程序,它们要么是商业上的,要么是免费提供给最终用户的。”

EMPIR项目由欧盟地平线2020研究和创新计划和EMPIR参与国共同资助。


编译:孙惠颖

小编叨叨 


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