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7月14日上午11时38分,重庆两江新区水土新城传来振奋人心的轰鸣——奥松半导体特色芯片产业基地8英寸生产线首台光刻机在众人瞩目中平稳移入洁净厂房。这一里程碑事件标志着项目从厂房建设转向设备调试阶段,为“8月底通线试产、年底实现规模化量产”的目标注入强劲动能,更预示着重庆集成电路产业向高端化迈出关键一步。

当日现场,重达数吨的光刻机被多层防尘罩严密包裹,由专业吊装团队通过气垫运输平台精准定位。技术人员手持激光校准仪反复比对,确保设备与产线基准线误差不超过0.1毫米。围观人群中,既有连续奋战36个月的工程团队,也有从荷兰、日本赶来的设备供应商专家,他们屏息凝神的姿态,折射出这一时刻对产业发展的特殊分量。

作为8英寸产线的核心装备,这台光刻机采用深紫外(DUV)光刻技术,可实现0.18微米至5微米工艺节点的批量生产,精准匹配汽车电子、工业控制等领域对特色传感器的需求。其顺利进场不仅意味着产线硬件部署进入收官阶段,更将触发刻蚀机、离子注入机等30余台关键设备的联动调试。项目总工程师透露,目前产线洁净度已达Class 100级标准,相当于手术室环境的1000倍洁净度,为光刻机等超精密设备运行提供了必要保障。

这一进展的背后,是重庆打造集成电路产业高地的战略决心。作为西部首个8英寸MEMS传感器专用产线,项目建成后将形成年产能20万片的生产能力,补齐重庆在车规级芯片、物联网传感器等领域的短板。更值得关注的是,项目已与长安汽车、赛力斯等本地车企达成合作意向,未来将实现“重庆造”芯片直供重庆造汽车,构建起从晶圆制造到终端应用的完整生态链。随着首台光刻机的轰鸣声响起,重庆“芯”版图正加速崛起。


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