【集成电路材料】溅射靶材上市公司Top5及国内产业竞争格局

半导体产业研究
2025-06-19 18:45:30

【内容目录】

1. 半导体靶材市场格局

2.国产溅射靶材上市公司Top5

3.其他溅射靶材厂商对比分析(国内)

4.结语

【湾芯展推荐】本文涉及的溅射靶材相关厂商

江丰电子、有研新材（子公司：有研亿金、有研国晶辉新材料）、欧莱新材、隆华科技（子公司：四丰电子、晶联光电）、阿石创、先导电子科技、安泰科技（子公司:安泰天龙）、东方钽业、映日科技、拓吉泰、最成半导体、合肥矽格玛、苏晶电子

1.半导体靶材市场格局

溅射靶材作为物理气相沉积（PVD）工艺的核心消耗品，是现代电子制造业不可或缺的关键材料。溅射靶材的应用集中在三大板块：平板显示器（FPD）、半导体芯片和太阳能电池。其中，平板显示是最大的应用市场，约占全球靶材市场需求的30%；半导体次之，约占20% 。

半导体靶材是整个靶材产业金字塔的顶端，其纯度要求通常需达到5N5甚至6N以上。长期以来，全球半导体靶材市场被少数几家国际巨头牢牢掌握，其中日本的日矿金属、东曹，以及美国的霍尼韦尔、普莱克斯（Praxair，现为林德集团成员）凭借其深厚的技术积累与稳定的供应链，占据了全球绝大部分市场份额。然而，这一稳固格局正迎来新的变量。近年来，随着全球半导体产业链的演进，以中国的江丰电子、有研新材等为代表的新兴力量正加速崛起。

2. 国产溅射靶材上市公司Top5

深芯盟产业研究部挑选5家国产溅射靶材上市公司（未区分平板显示靶材、半导体靶材）：江丰电子、有研新材、欧莱新材、隆华科技、阿石创，进行“靶材领域”年度竞争力指数评估。

关于年度竞争力评估指数的描述（上下滑动查看详情）：

本指数是面向中国半导体上市公司的精细化评估工具，通过量化技术创新、财务健康、盈利能力、市场地位、产能与潜力这五个公开报告与报表数据中的关键业务维度，力求全面客观地细分各产品线的年度竞争力。

在技术创新维度中，指数使用研发投入强度指标（10%权重），直接反应企业对技术创新的资源倾斜程度；并使用研发人员占比指标（10%权重）聚焦人力资源配置质量。

在财务健康维度中，指数同时考虑短期流动性与长期偿债能力，分别以速动比率（5%权重）和“1-资产负债率”（5%权重）综合评估企业的抗风险能力。注：由于资产负债率是负向指标，故使用此方法转化。

在盈利能力维度中，指数按产品线营收占比分摊预估公司归母净利润的表现（20%权重），并采用产品毛利率（10%权重），解释细分市场定价能力与成本控制效率。

在市场地位维度中，指数采用分产品的营收规模（30%权重）突显市场份额与业务体量，作为行业话语权的关键锚点。

在产能与潜力维度中，指数使用资产负债表无形资产同比增长率（10%权重）衡量长期发展动能，反应产研转化效率。

最后，我们使用了Z-Score平移标准化后的各维度数据计算得出最终的指数，并直接呈现指数的绝对值。另外提醒您注意，由于各版块公司数量不同，数据标准化的基数也不同，因此三级行业的数据不具有跨板块可比性。

*数据来源：年报(2024FY）

江丰电子

公司介绍：

江丰电子成立于2005年，是中国超高纯金属材料及溅射靶材行业的领军企业。公司深度参与了国家“02专项”等重大科研项目，旨在打破国外垄断，实现关键材料的自主可控。其产品已进入全球多家主流半导体制造企业供应链，被誉为中国半导体靶材第一股。

主营产品：

半导体靶材：产品线覆盖超高纯铝(Al)、钛(Ti)、钽(Ta)、铜(Cu)及其合金靶材，钨(W)、钨钛(WTi)等。产品应用于从200mm到300mm的晶圆制造，技术节点覆盖至最先进的3nm。平板显示靶材：提供用于LCD和OLED面板生产的各类靶材。精密零部件：围绕半导体设备（PVD, CVD等）提供各种精密零部件，如环件(Ring)、屏蔽件(Shield)等，与靶材业务形成协同。

核心竞争力：

掌握了超高纯金属提纯、晶粒晶向控制、异种金属焊接、精密加工与清洗等全套核心技术。在7nm及以下逻辑芯片制造所需的铜(Cu)和钴(Co)靶材，以及先进存储所需的钨(W)和钨合金靶材方面均已实现量产。特别是在制造难度极高的铜锰(CuMn)合金靶材领域，公司是全球少数几家掌握核心技术的厂商之一。半导体领域成功进入台积电、中芯国际、联华电子、格罗方德等全球顶级晶圆代工厂的供应链。平板显示领域为京东方、华星光电等主流面板厂商供货。公司持续推进募投项目“超高纯金属溅射靶材扩产项目”，以满足日益增长的市场需求。位于杭州的年产15万片集成电路核心零部件产业化项目已于2024年开工，将进一步强化协同优势。

有研新材

公司介绍：

有研新材由北京有色金属研究总院（有研集团）发起设立，1999年上市，拥有深厚的科研底蕴和央企背景。公司业务分为“电、磁、光、医”四大板块，其中“电”板块的核心业务之一便是半导体用高纯靶材。其靶材业务主要由子公司“有研亿金新材料有限公司”和“有研国晶辉新材料有限公司”承担。

主营产品：

高纯金属靶材：广泛应用于半导体、平面显示、太阳能电池、光学元器件、工具改性等领域。国内4~8寸芯片制造用靶材市场占有率领先，4~12寸芯片制造用靶材均可提供。国内8~12寸先进封装行业用靶材市场占有率领先，先进封装行业用靶材均可提供。产品包括铜(Cu)、钴(Co)、钽(Ta)、镍铂(NiPt)、钨(W)及钨合金等。稀土金属材料：包括高纯稀土金属、靶材及稀土磁性材料。贵金属材料：用于封装和互联的金、铂基材料。红外光学材料：锗(Ge)、硫系玻璃等。

核心竞争力：

依托有研集团在有色金属材料领域数十年的研发积累，具备从原子层面设计材料的强大能力，在高纯金属制备和新材料开发上拥有先天优势。半导体领域：在高端产品上进展迅速。12英寸先进制程用大尺寸超高纯铜合金靶材已通过世界一流集成电路企业验证并批量供货。12英寸钽靶已通过多家知名客户验证，实现国产替代。钴靶、镍铂靶材在多家12英寸晶圆厂批量供货，可满足7nm技术节点的关键材料要求。积极布局上游高纯金属原料生产基地（如山东德州），保障供应链安全，并形成从原料到成品的产业闭环，有效控制成本和质量。2023年9月，其位于山东德州的“集成电路用高纯溅射靶材项目”正式投产，显著提升了公司在铜、钴等高端靶材上的产能和供应能力，标志着公司靶材业务进入新的发展阶段。

欧莱新料

公司介绍：

欧莱新材成立于2010年，是一家专注于高性能溅射靶材的研发、生产和销售的高新技术企业。公司以平板显示领域为主要市场，是国内该细分领域技术领先、规模较大的供应商之一。

主营产品：

平板显示靶材：核心业务。产品覆盖铜(Cu)、铝(Al)、钼(Mo)及钼合金、ITO（氧化铟锡）等多种靶材，提供G2.5至G10.5代线所需的各类平面及旋转靶材。触控屏与装饰镀膜靶材：用于触控屏、建筑玻璃、装饰镀膜等领域的靶材。上游新材料：积极向上游延伸，布局高纯无氧铜、高纯微晶磷铜球等材料。

核心竞争力：

在平板显示领域与客户深度绑定，与京东方、华星光电、惠科、彩虹光电、深超光电等中国大陆主流面板厂商建立了长期稳定的合作关系，客户资源优质且稳固。能够满足从低世代到高世代线（特别是G8.5、G10.5）的多种靶材需求，具备强大的配套供应能力。公司掌握了靶材微观组织结构控制、大尺寸绑定焊接等核心技术，产品性能稳定。公司明确提出“以屏为依托，多前沿领域深入发展”的战略。在巩固显示领域优势的同时，积极向集成电路靶材、新能源、新材料等领域拓展。半导体领域正在加快集成电路靶材的新技术研发和新产品开发，将其作为未来的重要增长点，但目前其业务仍主要集中在平板显示领域。根据证券时报2025年6月5日的报道，欧莱新材为新客户供应的集成电路用高纯铜靶材已成功出货。

隆华科技

公司介绍：

隆华科技前身为节能环保设备制造商，通过一系列成功的并购，转型为一家以新材料业务为核心的平台型公司。其靶材业务主要通过控股子公司洛阳高新四丰电子材料有限公司（四丰电子）和广西晶联光电材料有限责任公司（晶联光电）开展。

主营产品：

平板显示靶材：钼（Mo）靶材：通过四丰电子运营，是公司的拳头产品，国内市占率第一。ITO靶材：通过晶联光电运营，产品包括平面和旋转靶，技术水平国内领先。其他金属靶材：银合金(Ag)、钨(W)、钛(Ti)等。半导体靶材：正在积极布局的业务方向，提供超高纯溅射靶材。其他新材料：高分子复合材料（PMI泡沫等）。节能环保：传统业务，提供稳定的现金流。

核心竞争力：

钼靶材具有绝对优势，在TFT-LCD/AMOLED用高纯钼及钼合金靶材领域，是京东方、天马、维信诺、TCL华星以及韩国LGD等全球主流面板企业的核心供应商，国内市场占有率超过50%。ITO靶材是国内首家实现G10.5高世代线平面ITO靶材批量供应的厂商，打破了国外垄断，解决了高端ITO靶材的“卡脖子”问题。全世代线产品已广泛应用于G2.5至G11全世代TFT-LCD和AMOLED生产线，客户覆盖面广，绑定深入。根据公司2024年报，其产品组合中已明确包括“半导体IC制造用超高纯溅射靶材”，表明公司已正式将业务拓展至技术要求更高的集成电路领域。公司持续优化产能，柳州ITO靶材生产基地等项目旨在满足不断增长的下游需求，进一步巩固其在显示领域的领先地位，并为半导体业务的拓展提供支持。

阿石创

公司介绍：

阿石创成立于2005年，专注于PVD镀膜材料的研发与生产。公司从光学镀膜材料起家，逐步切入平板显示和半导体靶材领域，并凭借在特定产品上的卓越表现，成为国家级专精特新“小巨人”企业和制造业单项冠军。

主营产品：

平板显示靶材：是其核心优势领域，钼(Mo)靶材是其王牌产品，市场地位突出。同时生产ITO、铝(Al)、铜(Cu)、硅(Si)等靶材。光学镀膜材料：公司起家业务，拥有丰富的技术积累和客户群。新能源靶材：为薄膜太阳能电池和HJT异质结电池提供ITO、AZO、铜、钼等靶材。其他PVD镀膜材料：如蒸发料等。

核心竞争力：

全球钼靶材领导者，市场份额第一。其生产的平板显示用钼靶材，在2023年全球市场占有率接近三分之一，位居全球第一，并因此获得了“国家制造业单项冠军企业”的荣誉。在PVD镀膜材料领域深耕近20年，拥有从原料到成品的完整工艺技术和质量控制体系，尤其在钼材料的加工上具备世界级水平。为巩固显示优势，不断扩大钼靶、铝靶等优势产品产能，满足国内面板产线的巨大需求。积极围绕新能源产业链拓展PVD镀膜技术的应用，特别是在光伏HJT电池靶材领域取得了良好进展。在半导体领域，公司已将半导体靶材列为发展方向。其当前的核心优势和业务重心仍在平板显示和光学领域。

4. 其他溅射靶材厂商对比分析 (国内)

除了上述6家上市公司之外，深芯盟产业研究部也整理了其他国内优秀靶材企业，如有错漏欢迎留言补充。

先导电科

先导电子科技股份有限公司（简称“先导电科”）是先导科技集团下属的子公司，其前身为“先导薄膜材料有限公司”。公司是一家专注于研发、生产、销售和回收物理气相沉积（PVD）所用溅射靶材和蒸发材料的高新技术企业。先导电科主营产品有陶瓷靶材、金属/合金靶材、贵金属靶材，蒸发材料等。自2022年起，先导电科的ITO靶材全球市场占有率超过30%，位居全球第一，成功实现了对日韩企业的超越和国产化替代。国内唯一进入技术壁垒极高的磁存储靶材领域的厂商，并率先实现了高世代线（G4.5）高迁移率氧化物靶材的量产交付。显示领域深度绑定全球主流面板厂商，客户包括京东方、TCL华星光电、天马、惠科以及韩国的三星、LG等。光伏领域进入异质结（HJT）电池供应链，客户包括华晟新能源、通威、东方日升等头部企业。半导体领域产品已陆续通过多家国际半导体大厂的认证，成功切入高价值市场。公司持续推进全球化布局，已在广东清远、安徽合肥、江苏徐州等地建成多个研发和制造基地，以满足不断增长的市场需求，特别是为高世代显示产线和半导体市场提供支持。

安泰科技（子公司：安泰天龙）

安泰科技股份有限公司（AT&M）是中国钢研科技集团旗下的新材料领域领军企业。安泰天龙作为其控股子公司，是安泰科技在难熔金属精深加工领域的核心平台，专注于钨、钼材料及其靶材的研发与生产，同时也是安泰科技布局钽、铌等半导体关键靶材的重要力量。依托中国钢研，在难熔金属的粉末冶金、塑性加工、纯度控制、晶粒组织调控等方面拥有国家级的研发实力。作为全球主要的钨钼材料供应商，其产品已进入国内外众多顶级半导体及面板厂商供应链，并通过了长期、严苛的质量认证。安泰科技的高纯钽靶材和钨靶材是战略发展的重中之重。公司致力于提升12英寸晶圆用靶材的纯度（5N级别及以上）、晶粒均匀性和尺寸稳定性，以满足14nm及更先进制程的需求。其钽靶材已在国内领先的逻辑和存储芯片产线实现批量供货，打破了国外垄断。安泰天龙的大尺寸钨、钼靶材在TFT-LCD和AMOLED产线中保持着较高的国产化率。公司正持续开发G11及以上世代线所需的高一致性、大尺寸靶材。持续推进“集成电路用关键靶材及部件生产线”等项目建设，旨在系统性提升从高纯原料制备到靶材成品的整体产能与技术水平。

东方钽业

宁夏东方钽业股份有限公司（OTIC）是中国乃至全球钽、铌、铍稀有金属研发和生产的龙头企业。在钽金属领域，其产业规模和技术水平均位居世界前三，是半导体用钽靶材国产化的绝对主力。在钽矿石分解、提纯、精炼方面拥有全球顶尖的核心技术，能从源头保障超高纯（5N-6N）钽原料的稳定供应和质量。作为国际半导体材料供应链的重要一员，其产品质量获得了全球顶级芯片制造商的认可。东方钽业是国内极少数能够批量供应12英寸晶圆用超高纯钽靶材的企业。公司正全力攻克7nm及以下逻辑芯片所需的超细晶粒、超高均匀性钽靶材技术。其产品已广泛应用于国内主流晶圆厂，并在国际市场上持续拓展。研发重点聚焦于改善靶材的晶体取向（Texture）控制，以提升溅射过程中的薄膜均匀性和颗粒（Particle）控制水平，这是先进制程的关键指标。除了靶材，公司还开发半导体设备用高纯钽环、坩埚等精密零部件，进一步巩固其在半导体用钽材料领域的领导地位。

最成半导体

浙江最成半导体科技有限公司是一家高度专注于超高纯金属材料及溅射靶材研发与产业化的公司。其定位精准，聚焦于半导体、平板显示等领域需求量最大的主流金属靶材。在铝、钛等靶材领域，最成半导体是实现对国外厂商（如JX日矿金属、霍尼韦尔）进行大规模替代的先行者。其12英寸晶圆用高纯铝、钛靶材已在中芯国际、华虹集团、长江存储等国内几乎所有主流芯片制造厂实现批量供应，市场占有率位居国产品牌首位。目前正向更先进制程（28nm及以下）所需的更高质量靶材推进。大尺寸铝、铜靶材在京东方、华星光电等高世代面板线（G8.5/G10.5）上广泛使用，以其高性价比和稳定质量获得了高度认可。位于浙江衢州的生产基地已成为全球范围内规模最大的靶材生产基地之一，其“年产1.5万块超高纯金属溅射靶材坯料”等项目持续达产，为大规模国产替代提供了产能保障。

合肥矽格玛

合肥矽格玛微电子有限公司（Sigma）由海外归国技术专家团队创立，是一家专业从事平板显示、半导体及光伏用高纯溅射靶材研发、生产和销售的高新技术企业。公司以陶瓷靶材为切入点，在平板显示领域建立了强大的市场地位。在ITO、IGZO等氧化物陶瓷靶材的粉末配方、成型、超大尺寸烧结和绑定技术上拥有国内顶尖的核心技术，这是其最显著的竞争优势。合肥矽格玛是国内显示面板靶材的龙头供应商。其ITO和金属靶材在京东方、华星光电、天马微电子等所有国内主流面板厂均实现大规模供货。在技术壁垒最高的IGZO靶材领域，公司是国内少数能够实现量产并稳定供货的企业之一，有力支持了国内高端显示产业的发展。依托在显示领域积累的客户和技术基础，公司正积极将其金属靶材产品线向半导体市场渗透，目前已在部分8英寸和12英寸产线获得认证和订单，成为公司新的增长点。

5. 结语

国内企业在溅射靶材的精密制造环节已经追赶上来，但靶材行业对高纯铝、高纯铜、高纯钛等关键金属的进口依赖，仍是当前最具体、最紧迫的痛点，它直接限制了供应链的安全与成本控制。因此，产业的下一个赛点已非常明确：焦点必须从“如何做好一块靶材”转向“如何炼出第一炉超高纯金属”。这不仅定义了中国靶材下一个十年的发展高度，更将最终决定其在全球半导体战略版图中的真正分量。

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