深圳市滨海流体科技有限公司（Acequip）专注于气体测量与控制技术，核心产品为热式气体质量流量控制器（Thermal MFC），覆盖微小流量及特殊工况应用，最低0.01...1 sccm，并可提供全金属密封、高温型等产品配置，满足高纯、腐蚀性及高温工艺气体的稳定控制需求。同时，公司提供汽化器（Vaporizer）及气体/蒸气输送解决方案，适用于前驱体汽化及精密输送，支持半导体、薄膜沉积、真空镀膜及其他先进制造工艺的应用。

Acequip 高温质量流量控制器（80 °C – 120 °C）专为先进半导体工艺设计，可实现对气体及蒸汽介质的高精度流量控制。

✔ ±1.0% 流量精度

✔ 316L 不锈钢接液材质

✔ 超洁净设计

✔ RS-485 / Modbus RTU / EtherCAT 通讯

✔ 针对 ALD / CVD 工艺优化

高精度 · 高重复性 · 快速响应 · 宽量程 · 灵活集成

A2 系列是 Acequip 面向半导体、真空镀膜及先进制造工艺开发的高精度数字式气体质量流量控制器，覆盖 1 SCCM–50 SLM 宽范围流量控制，兼顾微小流量精密控制与中高流量应用。

核心产品优势：

• 精度最高可达 ±0.25% F.S.，满足高精度工艺气体控制需求。

• 重复性最高达 ±0.1% F.S.，提升连续工艺中的流量一致性和稳定性。

• 响应时间 ≤0.8 s，适用于对动态流量控制有较高要求的工艺设备。

• 1SCCM–50 SLM 宽量程覆盖

• 支持橡胶密封、金属密封及全金属密封，可针对高纯、特殊及严苛工况进行配置。

• 数字化通信与设备集成

• 支持 RS-485 / EtherCAT/Profibus 数字通信，同时提供 0–5 VDC 模拟接口，方便集成至 PLC、工控机及自动化设备。

• 金属/全金属密封配置泄漏率最高可达 1×10⁻¹¹ Pa·m³/s (He)。

应用：

半导体制造｜真空镀膜｜PVD｜CVD｜ALD｜MPCVD｜精密气体输送与控制